UNIVEX 450 B

Кат. № DU0048

Основные области применения:
- Вакуумное напыление в исследованиях и разработках
- Предварительные производственные испытания
- Специальные эксперименты

Преимущества данной установки:

- Модульная конструкция системы
- Удобный доступ к основным узлам вакуумной камеры
- Установка очень проста в эксплуатации
- Система откачки адаптирована для индивидуального использования
- Возможность высокочастотного распыления

Система откачки включает в себя:
- Двухступенчатый пластинчато-роторный вакуумный насос TRIVAC D 65 B
- Турбомолекулярный вакуумный насос TURBOVAC 1100 С

Наименование параметра

Значение

1 Вакуумная камера

Материал

Внутренние размеры камеры

Ширина, мм

Глубина, мм

Высота, мм

Соединения:

Передняя часть

Задняя часть

 

 

Боковые стороны

 

Нержавеющая сталь

 

500

500

650

 

Дверь со смотровым окном

DN 250 ISO-KF (Откачная система),

 4 x DN 16 ISO-KF, 2 x DN 40 ISO-KF

 

DN 250 ISO-K

2 Высоковакуумный насос

   Номинальная быстрота действия по N2 (азоту), л/с

   Блок питания

TURBOVAC 1100 C

2016

TURBOTRONIK NT 20

3 Форвакуумный насос

   Номинальная быстрота действия, м3

TRIVAC D 25 B

29,5

4 Контроллер

Программируемый контроллер с графическим сенсорным экраном

5 Питание от сети трехфазного переменного тока с частотой 50 Гц, напряжением, В

380

6 Давление в системе охлаждения, бар

 

От 4 до 7

7 Расход охлаждающей жидкости, л/мин

1

8 Температура питающей жидкости, оС

от +15 до +25

9 Степень сжатия по воздуху, бар

от 4 до 7

10 Масса, кг

500