Установка УВН-4МВ

Вакуумная напылительная установка УВН-4МВ предназначена для нанесения магнетронным распылением металлов в вакууме на нити (волокна) или рулонные материалы.

Принцип работы.
Принцип работы установки основан на распылении материала мишени, которое осуществляется ионами рабочего газа, образующимися в плазме аномального тлеющего разряда, в скрещенных электрических и магнитных полях.
Питание установок от сети переменного трёхфазного тока напряжением 380/220 В, частотой 50 Гц.

Наименование параметра

Значение

1 Производительность установки, м3/цикл, не менее

17

2 Предельное остаточное давление в камере при температуре окружающего воздуха от +10 0С до +25 0С, Па (мм рт.ст.), не более

 

1,33·10-3 (1·10-5)

3 Установленная мощность, Вт, не более

154500

4 Расход охлаждающей воды температурой от +10 0С до +20 0С, л/ч, не более

9500

5 Габаритные размеры, мм, не более:

длина

ширина

высота

 

7720

4500

2450

6 Масса, кг, не более

5750