Установка УВН-4МЭУ

УВН-4МЭУ - высокотехнологическая установка вакуумного напыления (распыление дуговым или магнетронным методами). Установка периодического действия для напыления плоских и объемных изделий.
Установка УВН-4МЭУ, предназначена для нанесения металлических и диэлектрических тонких плёнок на изделия из пластика, металла, керамики и т. д., имеющих сложную форму.

Внутрикамерное оборудование
В установке (стандартная конфигурация) расположены:
- две магнетронные распылительные системы;
- два протяжённых электродуговых испарителя с охлаждаемым анодом;
- система очистки/травления в плазме импульсного тлеющего разряда;
- ионный источник;
- система нагрева изделий;
- система плазменной полимеризации.
Установка оснащена системой планетарного вращения изделий с приёмным устройством.
Внутрикамерное оборудование может меняться в зависимости от требований заказчика.

Наименование параметра

Значение

1 Производительность установки, м3/цикл, не менее

17

2 Рабочее давление в вакуумной камере, Па (мм рт.ст.), не более:

перед напылением

 

6,65·10-3 (5·10-5)

в процессе напыления

6,65·10-2 – 6,65∙10-3 (5·10-4 - 5·10-5)

3 Установленная мощность, Вт, не более

150000

4 Расход охлаждающей воды при температуре (288±5) К (15±5) 0С и давлении на входе в водораспределитель 2∙105 Па (2 кгс/см2), л/ч, не более

 

10000

5 Время откачки камеры до давления 6,65∙10-3 Па, мин, не более

40

6 Габаритные размеры, мм, не более:

длина

ширина

высота

 

2776

4363

2412

7 Масса, кг, не более

4100

Warning: Invalid argument supplied for foreach() in /var/www/vhosts/vacma.ru/httpdocs/bitrix/templates/.default/components/bitrix/catalog/.default/bitrix/catalog.element/.default/template.php on line 44
Warning: Illegal string offset 'TEXT' in /var/www/vhosts/vacma.ru/httpdocs/bitrix/templates/.default/components/bitrix/catalog/.default/bitrix/catalog.element/.default/template.php on line 48
Warning: Invalid argument supplied for foreach() in /var/www/vhosts/vacma.ru/httpdocs/bitrix/modules/alexkova.megametatags/classes/general/CMegaMetaKeys.php on line 193 Warning: Invalid argument supplied for foreach() in /var/www/vhosts/vacma.ru/httpdocs/bitrix/modules/alexkova.megametatags/classes/general/CBIblockMegaMetaTags.php on line 462 Warning: Invalid argument supplied for foreach() in /var/www/vhosts/vacma.ru/httpdocs/bitrix/modules/alexkova.megametatags/classes/general/CMegaMetaRules.php on line 34 Warning: Invalid argument supplied for foreach() in /var/www/vhosts/vacma.ru/httpdocs/bitrix/modules/alexkova.megametatags/classes/general/CMegaMetaRules.php on line 99