Turbomolecular pump system PT 300 DRY


Вариант исполнения

Кат. №

DN 100 ISOK

502502

DN 100 CF

502503


Система включает в себя:
- Турбомолекулярный вакуумный насос TURBOVAC SL 300
- Спиральный вакуумный насос SCROLLVAC SC 5 D
- Воздушное охлаждение блока
- Преобразователь частоты TD 400
 


Наименование параметра

Значение

1 Входной фланец

DN 100 ISOK

DN 100 CF

2 Выходной фланец

DN 16 ISOKF

DN 16 ISOKF

3 Быстрота действия по N2 — азоту, л/с

270

270

4 Предельное остаточное давление, мбар (мм рт.ст.)

< 1.0×10-9

(< 7.5×10-10)

< 1.0×10-9

(< 7.5×10-10)

5 Питание эл/двиг. от сети однофазного переменного тока с частотой 50 Гц, напряжением, В

230

230

6 Мощность электродвигателя, кВт

0,6

0,6

7 Масса, кг

44

44


Наименование параметра

Значение

1 Входной фланец

DN 100 ISOK

DN 100 CF

2 Выходной фланец

DN 16 ISOKF

DN 16 ISOKF

3 Быстрота действия по N2 — азоту, м3

270

270

4 Предельное остаточное давление, мбар (мм рт.ст.)

< 1.0×109

(< 7.5×1010)

< 1.0×109

(< 7.5×1010)

5 Питание эл/двиг. от сети однофазного переменного тока с частотой 50 Гц, напряжением, В

230

230

6 Мощность электродвигателя, кВт

0,6

0,6

7 Масса, кг

44

44