HV-Pump system PT 80 DRY


Вариант исполнения

Кат. №

DN 63 ISOK

DU0040

DN 63 CF

DU0041



Система включает в себя:
- Турбомолекулярный насос TURBOVAC SL 80
- Спиральный вакуумный насос SCROLLVAC SC 5 D
- Интегрированная воздушная система охлаждения
- Электронный преобразователь с переключателем
 


Наименование параметра

Значение

1 Турбомолекулярный насос

Входное соединение

Быстрота действия по N2 - азоту, л/с

 

DN 63 ISOK

 65

 

 

DN 63 CF

 65

 

2 Спиральный форвакуумный насос

Быстрота действия, м3

Предельное давление, мбар

 

5,4

0,05

 

5,4

0,05

3 Предельное остаточное давление, мбар (мм рт.ст.)

< 1.0 x 10‐7

(< 0.75 x 10‐7)

< 1.0 x 10‐8

(< 0.75 x 10‐8)

4 Время выхода на режим, мин

1,5

1,5

5 Питание эл/двиг. от сети переменного тока с частотой 50 Гц, напряжением, В

230

230

6 Потребляемая мощность, Вт

450

450

7 Масса, кг

28

28