Описание вакуумной камеры УВН-4МВ

Вакуумная напылительная установка УВН-4МВ предназначена для нанесения магнетронным распылением металлов в вакууме на нити (волокна) или рулонные материалы.

Принцип работы.
Принцип работы установки основан на распылении материала мишени, которое осуществляется ионами рабочего газа, образующимися в плазме аномального тлеющего разряда, в скрещенных электрических и магнитных полях.
Питание установок от сети переменного трёхфазного тока напряжением 380/220 В, частотой 50 Гц.