Вакуумное оборудование
TURBOVAC 350 iX
Вариант исполнения
Кат. №
TURBOVAC 350 iX
RS 485, USB, DN 100 ISO-K
830051V3300
TURBOVAC 350 iX
RS 485, USB, DN 100 СF
830061V3300
TURBOVAC 350 iX
USB, DN 100 ISO-K
830051V3000
TURBOVAC 350 iX
USB, DN 100 CF
830061V3000
Турбомолекулярный насос с гибридным подшипником, а так же встроенным частотным преобразователем и интегрированной системой контроля с возможностью подключения вакуумного датчика и установки программного обеспечения для настройки системы. Оснащен ступенью Холвека, благодаря которой возможно создание более глубокого вакуума, а сам насос становится менее требовательным к максимальному форвакуумному давлению, что позволяет использовать в качестве форвакуумных мембранные или спиральные насосы.
Наименование параметра
Значение
Turbovac 350 iX
Turbovac 450 iX
1 Входной фланец, DN
100 ISO-K
100 ISO-CF
160 ISO-K
160 CF
2 Быстрота действия, л/с
N2 – Азот
Ar – Аргон
He – Гелий
H2 – Водород
290
260
360
350
290
260
360
350
430
400
440
420
430
400
440
420
3 Рабочая скорость, об./мин
60 000
60 000
60 000
60 000
4 Коэффициент сжатия
N2 – Азот
Ar – Аргон
He – Гелий
H2 – Водород
1,0 x1011
1,0 x1011
1,0 x108
1,0 x106
1,0 x1011
1,0 x1011
1,0 x108
1,0 x106
1,0 x1011
1,0 x1011
1,0 x108
1,0 x106
1,0 x1011
1,0 x1011
1,0 x108
1,0 x106
5 Предельное давление,
мбар (мм рт.ст.)
<10-8
(<0,75 x10-9)
<10-10
(<0,75 x10-11)
<10-8
(<0,75 x10-9)
<10-10
(<0,75 x10-11)
6 Макс. Температура дегазации, °C
-
80
-
80
7 Макс. Форвакуумное давление для N2, мбар (мм рт.ст.)
10 (7.5)
10 (7.5)
10 (7.5)
10 (7.5)
8 Время выхода на режим, мин
≈ 5.5
≈ 5.5
≈ 5.5
≈ 5.5
9 Производительность по газу (мбар х л /c):
N2 – Азот
Ar – Аргон
He – Гелий
H2 – Водород
4,5
2,0
8,0
8,0
4,5
2,0
8,0
8,0
4,5
2,0
8,0
8,0
4,5
2,0
8,0
8,0
10 Масса, прибл., кг
8
12
8.2
13
График зависимости быстроты действия от входного давления Turbovac 350 i
TURBOVAC 350 iX
|
Вариант исполнения |
Кат. № |
|
TURBOVAC 350 iX |
830051V3300 |
|
TURBOVAC 350 iX |
830061V3300 |
|
TURBOVAC 350 iX |
830051V3000 |
|
TURBOVAC 350 iX |
830061V3000 |
Турбомолекулярный насос с гибридным подшипником, а так же встроенным частотным преобразователем и интегрированной системой контроля с возможностью подключения вакуумного датчика и установки программного обеспечения для настройки системы. Оснащен ступенью Холвека, благодаря которой возможно создание более глубокого вакуума, а сам насос становится менее требовательным к максимальному форвакуумному давлению, что позволяет использовать в качестве форвакуумных мембранные или спиральные насосы.
|
Наименование параметра |
Значение |
|||
|
Turbovac 350 iX |
Turbovac 450 iX |
|||
|
1 Входной фланец, DN |
100 ISO-K |
100 ISO-CF |
160 ISO-K |
160 CF |
|
2 Быстрота действия, л/с N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
290 260 360 350 |
290 260 360 350 |
430 400 440 420 |
430 400 440 420 |
|
3 Рабочая скорость, об./мин |
60 000 |
60 000 |
60 000 |
60 000 |
|
4 Коэффициент сжатия N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,0 x108 1,0 x106 |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,0 x108 1,0 x106 |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,0 x108 1,0 x106 |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,0 x108 1,0 x106 |
|
5 Предельное давление, мбар (мм рт.ст.) |
<10-8 (<0,75 x10-9) |
<10-10 (<0,75 x10-11) |
<10-8 (<0,75 x10-9) |
<10-10 (<0,75 x10-11) |
|
6 Макс. Температура дегазации, °C |
- |
80 |
- |
80 |
|
7 Макс. Форвакуумное давление для N2, мбар (мм рт.ст.) |
10 (7.5) |
10 (7.5) |
10 (7.5) |
10 (7.5) |
|
8 Время выхода на режим, мин |
≈ 5.5 |
≈ 5.5 |
≈ 5.5 |
≈ 5.5 |
|
9 Производительность по газу (мбар х л /c): N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
4,5 2,0 8,0 8,0 |
4,5 2,0 8,0 8,0 |
4,5 2,0 8,0 8,0 |
4,5 2,0 8,0 8,0 |
|
10 Масса, прибл., кг |
8 |
12 |
8.2 |
13 |
График зависимости быстроты действия от входного давления Turbovac 350 i