Производство и продажа вакуумного оборудования и техники
TURBOVAC 350 iX
|
Вариант исполнения |
Кат. № |
|
TURBOVAC 350 iX |
830051V3300 |
|
TURBOVAC 350 iX |
830061V3300 |
|
TURBOVAC 350 iX |
830051V3000 |
|
TURBOVAC 350 iX |
830061V3000 |
Турбомолекулярный насос с гибридным подшипником, а так же встроенным частотным преобразователем и интегрированной системой контроля с возможностью подключения вакуумного датчика и установки программного обеспечения для настройки системы. Оснащен ступенью Холвека, благодаря которой возможно создание более глубокого вакуума, а сам насос становится менее требовательным к максимальному форвакуумному давлению, что позволяет использовать в качестве форвакуумных мембранные или спиральные насосы.
|
Наименование параметра |
Значение |
|||
|
Turbovac 350 iX |
Turbovac 450 iX |
|||
|
1 Входной фланец, DN |
100 ISO-K |
100 ISO-CF |
160 ISO-K |
160 CF |
|
2 Быстрота действия, л/с N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
290 260 360 350 |
290 260 360 350 |
430 400 440 420 |
430 400 440 420 |
|
3 Рабочая скорость, об./мин |
60 000 |
60 000 |
60 000 |
60 000 |
|
4 Коэффициент сжатия N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,0 x108 1,0 x106 |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,0 x108 1,0 x106 |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,0 x108 1,0 x106 |
1,0 x1011 1,0 x1011 1,0 x108 1,0 x106 |
|
5 Предельное давление, мбар (мм рт.ст.) |
<10-8 (<0,75 x10-9) |
<10-10 (<0,75 x10-11) |
<10-8 (<0,75 x10-9) |
<10-10 (<0,75 x10-11) |
|
6 Макс. Температура дегазации, °C |
- |
80 |
- |
80 |
|
7 Макс. Форвакуумное давление для N2, мбар (мм рт.ст.) |
10 (7.5) |
10 (7.5) |
10 (7.5) |
10 (7.5) |
|
8 Время выхода на режим, мин |
≈ 5.5 |
≈ 5.5 |
≈ 5.5 |
≈ 5.5 |
|
9 Производительность по газу (мбар х л /c): N2 – Азот Ar – Аргон He – Гелий H2 – Водород |
4,5 2,0 8,0 8,0 |
4,5 2,0 8,0 8,0 |
4,5 2,0 8,0 8,0 |
4,5 2,0 8,0 8,0 |
|
10 Масса, прибл., кг |
8 |
12 |
8.2 |
13 |
График зависимости быстроты действия от входного давления Turbovac 350 i
