Вакуумное оборудование

PTR 90


PTR 90, DN 25 ISO-KF

230 070

PTR 90, DN 40 ISO-KF

230 071

PTR 90, DN 40 CF

230 072







Основные области применения:
- Технологии распыления и нанесения покрытий
- Аналитические технологии
- Вакуумные печи
- Универсальные измерения давления  и контроль в среднем и высоком диапазонах вакуума



Наименование параметра

Значение

Диапазон показаний мбар (Торр)

От 5 х 10-9 до 1000 (3.75 x 10-9 ... 750)

Погрешность измерения

 

30 в диапазоне от 1 х 10-8 до 100 мбар
(в диапазоне от 0,75 х 10-8 до 75 Торр)

Принцип измерения

Холодный катод, ионизация газа с помощью тлеющего разряда Пеннинга

Воспроизводимость, %

5 в диапазоне 1 х 10-8 ... 100 мбар
(в диапазоне 0,75 х 10-8 ... 75 Торр)

Выходной сигнал (сигнал измерения)
диапазон напряжения
диапазон измерений
Отношения напряжение - давление
сигнал ошибки

 

0 - 10.5
1,82 ... 8,6
Логарифмическая, 0,6 В /1 декада
<0,5 В при отключении питания
> 9.5 В  Датчик  Пирани неисправен (обрыв нити)

Питание , В постоянного тока

15 - 30

Электрическое подключение

FCC 68 разъем, 8-ми контактный

Рабочая температура, ° C

От +5 до +55

Температура хранения, ° C

От -40 до +65

Материалы, контактирующие со средой

Нержавеющая сталь, керамика, Mo, Ni, Au, W, Витон

Избыточное давление (абс.), бар

10

Класс защиты от внешних воздействий

IP 40