Вакуумное оборудование

TTR 91 N/TTR 91 SN/TTR 96 SN

Информация для заказа.

TTR 91 (S)N / TTR 96 N

Без порога переключения

TTR 91 N, DN 16 ISO-KF

TTR 91 N, 1/8” NPT

TTR 91 N, DN 16 CF

TTR 91 N, ½” Tube, DN 16 CF


230035V02

230038V02

230036V02

230037V02

С порогом переключения

TTR 91 N, DN 16 ISO-KF

TTR 91 N, 1/8” NPT

TTR 91 N, DN 16 CF

TTR 91 N, ½” Tube, DN 16 CF


230040V02

230043V02

230045V02

230047V02

Аксессуары, опционально

Спиральная труба DN 16 ISO-KF

230082


Преимущества для пользователя.

- Датчик устойчивым к вибрациям и ударам вентилирования

- Быстрая реакция и высокая точность

- Высокая воспроизводимость

- Сигнал измерения нечувствителен к положению монтажа

- Прочный корпус из нержавеющей стали

- Дополнительные компьютерные интерфейсы: EtherCAT и RS 232

- Версия с длинной трубкой для достижения более высоких температур в камере отжига

- LED кольцо для индикации состояния датчика

Применение датчиков.

- Аналитическая инженерия

- Исследования и разработки

- Вакуумная сушка

- Контроль датчиков ионизации

- Система управления технологическим процессом

- Перерабатывающая промышленность

- Закрытые версии для улучшенной химической стойкости

Сенсор.

Принцип измерения датчика THERMOVAC основан на теплопроводности. Датчики оснащены чувствительным элементом MEMS-Пирани, который состоит из кремниевого чипа с нагретым резистивным элементом. Датчики THERMOVAC с покрытием на основе МЭМС-Пирани хорошо подходят для жестких процессов. Интеграция датчиков в программируемых системах управления облегчается линейной характеристикой, которая может быть определена путем ввода простого уравнения в ПЛК или компьютер.

 

Технические данные

TTR 91 N

TTR 91 SN

TTR 96 SN

Диапазон показаний, мбар (торр)

5 х 10-5 - 1000 (3.75 х 10-5 - 750)

Погрешность измерения, мбар

5 х 10-4 - 1 х 10-3 ±10%

1 х 10-3 - 100 ±5%

100 – 1000 ±25%

Принцип измерения

MEMS-Pirani

MEMS-Pirani

Coated MEMS-Pirani


Теплопроводность в соответствии с Пирани

Напряжение питания, В

9-30

Потребляемая мощность, Вт

≤1.2

Электрическое подключение

FCC68 / RJ45

Аналоговый вывод

В

Разрешение, бит

Сопротивление, Ом

Скорость обновления, Гц

Vout = log10 (Pmbar) x 1.286 + 6.143

1.1 to 10

16

100

16

Интерфейс

-

Индикаторы состояния

LED-ring (360)

Максимальная длина кабеля, м.

100

Предельное избыточное давление, бар

6

Диапазон рабочих температур, ° C

0 до 40

Диапазон температур хранения, ° C

-20 до +65

Максимальная температура обезгаживания, ° C

85

Максимальная относительная влажность, %

≤95

Монтаж

любой

Материалы, контактирующие со средой

304 нержавеющая сталь, силикон, SiO2, Si3N4, олово, золото, Viton®, низко дегазированная эпоксидная смола

304 нержавеющая сталь, Viton®, Parylene-HT®

Мертвый объем, см3

2.8

Вес (DN 25 ISO-KF), г. (lbs)

170

Класс защиты, IP

40

Сертификат CE

EMC Directive 2004/108/EEC

Тип контроллера

DISPLAY ONE / TWO / THREE и GRAPHIX ONE / TWO / THREE