Вакуумное оборудование

TTR 200 N

Информация для заказа.

TTR 200 N

TTR 200 N, DN 16 ISO-KF, 3SP

230365V02

Центрирующее кольцо с фильтром тонкой очистки DN 16 ISO-KF

88396


Датчики предлагают широкий диапазон измерения абсолютного и дифференциального диапазон -1013 до 1013 мбар (относительно атмосферного давления). Высокоточный дифференциальный датчик не чувствителен к изменениям условий окружающей среды под давлением.

Преимущества для пользователя.

- Высокая воспроизводимость и высокая точность

- Независимость от типа газа в диапазоне давлений от 50 до 1300 мбар

- Три интегрированные заданные значения

- Сигнал измерения нечувствителен к положению монтажа

- До трех датчиков в одном корпусе для широкого диапазона измерений

- Простота в эксплуатации через аналоговый выход и цифровой связи

- LED кольцо для индикации состояния датчика

Применение датчиков.

- Общее измерение вакуума и контроль от низкого до среднего давления вакуума

- Контроль датчиков ионизации высокого вакуума

- Аналитическое оборудование

- Сканирующие электронные микроскопы

- Процессы, требующие как абсолютное измерение давления и возможность переключения на атмосферу

Технические данные

TTR 200 N

Диапазон показаний, мбар (торр)

абсолютное

избыточное

5 х 10-5 - 1500 (3.75 х 10-5 - 1125)

5 х 10-5 – 1500 (3.75 х 10-5 - 1125) [RS 232]

-1013 – 1013 (-760 - 760) [RS 232]

Погрешность измерения, мбар

MEMS-Pirani

Diff. Piezo

1 х 10-4 - 1 х 10-3 ±10%

1 х 10-3 - 100 ±5%

1 х 10-3 - 100 ±25%

-10 - 10 ±10%

-100 – -10 ±8%

-1013 – -100 ±1%

10 – 100 ±5%

Стабильность

Penning, мбар

MEMS-Pirani, мбар

Diff. Piezo, мбар

1 х 10-3 - 100 ±2%

1 х 10-3 - 100 ±2%

-1013 – 10 ±1%

Сенсор

Принцип измерения

MEMS-Pirani and Diff. Piezo

Теплопроводность в соответствии с Piezo

Напряжение питания, В

9-30

Потребляемая мощность, Вт

≤1.2

Электрическое подключение

D-Sub 15 pin

Аналоговый вывод

В

Разрешение, бит

Сопротивление, Ом

Скорость обновления, Гц

Vout = log10 (Pmbar) x 1.286 + 6.143

0.61 to 10.23

16

100

16

Интерфейс

RS 232

Индикаторы состояния

LED-ring (360)

Максимальная длина кабеля, м.

20

Предельное избыточное давление, бар

2

Диапазон рабочих температур, ° C

0 до 40

Диапазон температур хранения, ° C

-20 до +65

Максимальная температура обезгаживания, ° C

85

Максимальная относительная влажность, %

0 - 95

Монтаж

любой

Материалы, контактирующие со средой

304 нержавеющая сталь, силикон, SiO2 , Si3N4, олово, золото, Viton®, низко дегазированная эпоксидная смола

Мертвый объем, см3

2.8

Вес (DN 25 ISO-KF), г. (lbs)

305

Класс защиты, IP

40

Сертификат CE

EMC Directive 2004/108/EEC

Тип контроллера

DISPLAY ONE / TWO / THREE и GRAPHIX ONE / TWO / THREE