АО «Вакууммаш»
Вакуумное оборудование от
разработки до производства
Официальный
дистрибьютор и
сервисный партнёр
Республика Татарстан, 420054, г. Казань, ул. Тульская, 58
+7 (800) 100-59-62
телефон отдела продаж
Перевод единиц давления
Корзина
Сравнение
Фильтр по параметрам
Диапазон давления
Масляный / Сухой
Тип
Быстрота действия
 
ед. изм.
9000.0
60750.0
112500.0
164250.0
216000.0
Оборудование

Криогенные насосы 

COOLPOWER
10 MD
Криоголовка с механическим приводом 
1 руб.
- +
шт
COOLPOWER
7/25
Криоголовка с механическим приводом 
1 руб.
- +
шт
COOLPOWER
5/100
Криоголовка с механическим приводом 
1 руб.
- +
шт
COOLPOWER
140 T
Криоголовка с механическим приводом 
1 руб.
- +
шт
COOLVAC
1500 iCL
Криогенный сверхвысоковакуумный насос 
1 500 руб.
- +
шт
Входное соединение
  • 200 CF
  • 200 ISO-K
  • 6" ANSI

3 варианта

COOLVAC
2000 iCL
Криогенный сверхвысоковакуумный насос 
1 500 руб.
- +
шт
Входное соединение
  • 250 ISO-K
  • 250 CF
  • 8" ANSI

3 варианта

COOLVAC
3000 iCL
Криогенный сверхвысоковакуумный насос 
1 500 руб.
- +
шт
Входное соединение
  • 10" ANSI
  • 320 ISO-K

2 варианта

COOLVAC
10000 iCL
Криогенный сверхвысоковакуумный насос 
1 500 руб.
- +
шт
Входное соединение
  • 20" ANSI
  • 500 ISO-K

2 варианта

1 2

Описание криогенных насосов

Криогенные насосы используются для получения глубокого вакуума, для улавливания газа в диапазоне давлений от 10-3 до ≤ 10-11 мбар (0,75 x 10-3 до≤ 0,75 x 10-11 Торр). Основным параметром, который влияет на характеристики криогенного насоса, является скорость откачки молекул газа по воздуху. Это отличает данный тип насосов от других разновидностей. Криогенные насосы в силу своей конструкции можно устанавливать непосредственно на вакуумной установке.

Тип криогенных насосов

  • Криогенные сверхвысоковакуумные насос COOLVAC
  • Криоголовки охлаждающие COOLPOWER
  • Установки компрессорные COOLPAK
  • Преимущества криогенных насосов

  • Высокая эффективная скорость откачки для всех газов
  • Чрезвычайно высокая скорость откачки для воды и водорода. При заданном диаметре высоковакуумного фланца крионасос обеспечивает самую высокую скорость откачки из всех высоковакуумных насосов. Преимущества, в отличие от высоковакуумных насосов для перекачки газа, крионасосы не имеют механически движущихся частей, смазанных маслом или консистентной смазкой со стороны вакуума. Следующие преимущества являются прямым результатом этой конструктивной характеристики:
  • Вакуум без углеводородов в диапазоне давлений от 10-3 до ≤ 10-11 мбар (от 0,75 x 10-3 до ≤ 0,75 x 10-11 Торр)
  • Нечувствительность к механическим возмущениям от частиц, поступающих в процессе, или внешних вибраций.
  • Принцип действия криогенных насосов

    Принцип действия заключается в том, что газообразные вещества связываются с холодными поверхностями внутри насоса посредством криоконденсации, криосорбции или криоулавливания. Способность откачивать путём криосорбции низкокипящие газы (гелий, водород), обеспечиваемая применением адсорбентов, охлаждаемых до сверхнизких (криогенных) температур. Важным аспектом работы крионасосов является регенерация. Поскольку крионасос является насосом для улавливания газа, перекачиваемые газы должны быть удалены из насоса до превышения предела производительности. Так называемая “регенерация” происходит путем выключения компрессорной установки и нагрева холодных поверхностей до комнатной температуры. Откачиваемые газы откачиваются с помощью чернового насоса. Как только давление вакуума станет достаточно низким, крионасос можно снова охладить. Наконец, когда рабочая температура была достигнут, процесс регенерации завершен.

    Область применения криогенных насосов

    Отсутствие масляных загрязнений и глубина вакуума определили широкое применение криогенных насосов в для создания полупроводников, нанесения защитных напылений на металл и нанесения тончайших различных электронных и оптических пленок, так же космическая отрасль использует криогенные насосы для воссоздания космического пространство в замкнутых объемах.