- Закрытые версии для улучшенной химической стойкости
Сенсор.
Принцип измерения датчика THERMOVAC основан на теплопроводности. Датчики оснащены чувствительным элементом MEMS-Пирани, который состоит из кремниевого чипа с нагретым резистивным элементом. Датчики THERMOVAC с покрытием на основе МЭМС-Пирани хорошо подходят для жестких процессов. Интеграция датчиков в программируемых системах управления облегчается линейной характеристикой, которая может быть определена путем ввода простого уравнения в ПЛК или компьютер.