Наименование параметра течеискателя PHOENIX |
Vario |
Минимальная определяемая течь по гелию: - Вакуумный режим (мбар*л/с) - Режим щупа (мбар*л/с) |
≤5х10-12 <1х10-9 |
Минимальная определяемая течь по водороду: - Вакуумный режим (мбар*л/с) - Режим щупа (мбар*л/с) |
≤1х10-8 <1х10-7 |
Диапазон уровней течи (мбар*л/с) | 1х10-12 – 1х10-1 |
Максимальное входное давление, мбар с комплектом разделения потока, мбар |
15 1000 |
Скорость по гелию в вакуумном режиме ULTRA, л/с | >3,1 |
Постоянная времени отклика течеискателя (фланец заглушен, 63% от макс. показания), с | <1 |
Время запуска (с момента включения), с | ≤2 |
Масс-спектрометр | С поворотом магнитного поля на 1800 |
Ионный источник | Два итрий/ирридиевых катода |
Входной порт | 25 ISO-KF |
Габаритные размеры (Д х Ш х В) мм | 486х380х313 |
Масса, кг | 25 |